飞利浦60立方米/小时超纯水系统的扩展和40立方米/ h的废水回收项目

继第一阶段去离子水项目的成功,CWST继续进行了飞利浦的DI系统二期扩容,更重要的是,在这家工厂第一次设计和安装了水回收系统。该回收系统是回收飞利浦生产和机械使用的废水: 1)从晶圆薄化处理的冲洗水; 2)RO回收水: 3)AHU/ MAU冷凝水。     该技术涉及最新的超滤工艺,特殊设计的RO系统防结垢和微生物控制。最终产品水的质量是如下:

  • 回收产品电导率<5us/cm,超出15 us/cm的规格
  • TOC<15ppb,超出50ppb的规范。

该废水回收系统受到新加坡的PUB(公用事业局)的高度认可,飞利浦在2013 年3月22日因此获得了节水管理的金奖。

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